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    ALD(原子層蒸着)プロセスの生産性を高めるには、バルブの熱安定性や流量において、より高い性能が求められます。

    スウェージロックの『原子層蒸着(ALD)用バルブ』は、サイクル・ライフが非常に優れており、高速かつ再現性の高い動作が特長。高い熱安定性が求められる用途や、大流量によるプロセス効率化に対応する製品も提供でき、腐食性の高い流体を扱う現場でも活躍します。用途に応じて選べる3機種をラインアップし、半導体製造における微細化ニーズに対応。現在、本製品の開発背景や概要、技術情報をまとめた解説資料を進呈中です。
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